自動で動作する機械機構は、西洋ではオートマタと呼ばれ中世にはすでに存在しました。日本でも「からくり」として江戸時代には普及していました。しかしこれらはロボットとは呼ばれておらず、「ロボット」という言葉が初めて登場するのはチェコの作家カレル・チャペックが1920年に発表した戯曲「R.U.R.（ロッサム万能ロボット会社）」と言われています。
ロボットは、チェコ語で労働を意味する「robota（ロボタ）」や、スロバキア語で労働者を意味する「robotnik（ロボトニーク）」などから作った造語で、同作品の中では人造人間（アンドロイド）に近いものとして描かれています。
その後、20世紀中盤からは米国の作家アイザック・アシモフがロボットの登場するさまざまなSF小説を発表。「ロボットは、人間に危害を加えてはならない」「ロボットは、人間に与えられた命令に服従しなければならない」「ロボットは、自己を守らなければならない」といった「ロボット三原則」が知られるようになりました。
ロボット工学三原則
第１条
ロボットは、人間に危害を加えてはならない。
また、その危険を看過することによって、人間に危害を及ぼしてはならない。
第２条
ロボットは、人間に与えられた命令に服従しなければならない。
ただし、与えられた命令が、第１条に反する場合はこの限りではない。
第３条
ロボットは、前掲第１条および第２条に反するおそれのない限り、
自己を守らなければならない。
この三原則は換言すれば「安全で操作しやすく、壊れない」とも表現でき、その後のロボット研究の方向性に影響を与えたとも言われています。人工知能（AI）が発達し、SF小説の世界が現実のものとなりつつある中で、近年改めて「ロボット三原則」に注目が集まっています。
産業用ロボットの歴史は1950年代の米国から始まります。54年にジョージ・デボル氏が、一度動作を記憶させて（ティーチング）、その動きを再生する装置を考案し、今日の産業用ロボットの礎となりました。その後、58年にはコンソリデイティッド・コントロールス社が産業用ロボットの試作品を発表しました。実用化されたのは60年代に入ってからで、61年にはユニメーション社が産業用ロボット「ユニメート」を発売、AMF社も同年産業用ロボット「バーサトラン」を開発して翌年発売しました。いずれも米国の企業です。
日本でのロボット生産の歴史は68年に始まりました。同年にプレス機械メーカーの会田鉄工所（現アイダエンジニアリング）が工業用ロボット「オートハンド」を発表し、また川崎重工業が米国ユニメーション社と技術提携を結んで翌69年に産業用ロボット「川崎ユニメート2000型」の製造販売を開始しました。70年代に入るとその他の企業も市場に参入し、研究開発が活発化しました。川崎ユニメート2000型など、初期のロボットは左右・上下への旋回軸と直線の伸縮軸からなるものが多く、現在主流のロボットとは軸構成が異なっています。
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